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二维精密微动刀架的研制
引用本文:卢泽生,张强.二维精密微动刀架的研制[J].航空精密制造技术,2006,42(4):7-10.
作者姓名:卢泽生  张强
作者单位:哈尔滨工业大学,机械制造及自动化系,哈尔滨,150001
摘    要:研制了一台由压电陶瓷驱动、Y向微调对刀装置及夹紧汽缸组成的X-Z二维精密微动刀架,并建立了微动刀架的数学模型。经实验测试刀架分辨率达到5nm,重复定位精度达到±0.01μm,满足超精密加工的要求。

关 键 词:微动刀架  压电陶瓷  超精密加工
文章编号:1003-5451(2006)04-0007-04
修稿时间:2006年1月18日

Development of Two Dimensions Micro-feed Tool Post
LU Ze-sheng,ZHANG Qiang.Development of Two Dimensions Micro-feed Tool Post[J].Aviation Precision Manufacturing Technology,2006,42(4):7-10.
Authors:LU Ze-sheng  ZHANG Qiang
Abstract:
Keywords:micro-feed tool post  piezoelectric actuator  ultra-precision machining
本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录!
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