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| 激光陀螺超高反射镜基片抛光工艺 | |
| 引用本文： | 滕霖,宋绍忠,任敬心.激光陀螺超高反射镜基片抛光工艺[J].航空精密制造技术,1997(3). |
| 作者姓名： | 滕霖 宋绍忠 任敬心 |
| 作者单位： | 西北工业大学，西北工业大学 |
| 摘 要： | 采用新型双层结构沥青抛光模和两种抛光粉（CeO2和Fe2O3）分步抛光工艺，在合理选择抛光工艺参数的条件下，实现了微晶玻璃激光陀螺反射镜基片的超精密抛光，表面粗糙度达到Ra＜0．5nm、面型精度N＝0．5、△N=0，1． |
| 关 键 词： | 抛光 反射镜基片 |
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