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| 环形激光陀螺高反膜的中性离子束镀制技术 | |
| 引用本文： | 陈平,高志海.环形激光陀螺高反膜的中性离子束镀制技术[J].航空精密制造技术,1991(1). |
| 作者姓名： | 陈平 高志海 |
| 摘 要： | 美国罗克韦尔(ROCKWELL)国际公司已研制出一种先进的离子束溅射镀膜设备,用于生产高精度环形激光陀螺导航仪的薄膜。离子束镀膜机由一个真空度低于10~(10)乇的真空室,两个宽束离子源,一个正方体靶装置和一个工件盘组成。真空室为φ609.6mm×609.6mm 的圆柱体,内装有膜厚分析仪,质谱仪,真空测量仪等设备,镀膜成品率可达85%。各种膜片在使用前必须进行反射率、透射率、吸收散射的测试,甚至膜层晶体结构的测试。该公司采用一种腔体衰减时间测试方法测量总损耗,测量分辨率为0.01ppm,散射和透过率采用直接测 |
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