| 阵列式高频热流信号薄膜传感器制备工艺与参数研究 |
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| 引用本文： | 董依依,衷洪杰.阵列式高频热流信号薄膜传感器制备工艺与参数研究[J].航空制造技术,2022,65(8):107-112. |
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| 作者姓名： | 董依依 衷洪杰 |
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| 作者单位： | 中国航空工业空气动力研究院,沈阳 110034 |
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| 摘 要： | 阵列式高频热流信号柔性薄膜传感器在流体力学风洞试验中有着十分重要的应用前景.聚酰亚胺具有优良的力学性能、化学稳定性和耐高温特性,是微加工制备薄膜传感器的理想衬底材料之一.但该材料表面有疏水基团,制备的金属镀层极容易被破坏,降低了应用价值.针对阵列式高频热流信号柔性薄膜传感器制备中衬底材料与镀层金属结合力欠佳的情况,使用...
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| 关 键 词： | 微加工 柔性薄膜 等离子体表面处理 光刻工艺 磁控溅射 |
Preliminary Stage of Preparation Technology and Parameters of Flexible Thin-Film Sensor |
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| DONG Yiyi,ZHONG Hongjie.Preliminary Stage of Preparation Technology and Parameters of Flexible Thin-Film Sensor[J].Aeronautical Manufacturing Technology,2022,65(8):107-112. |
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| Authors: | DONG Yiyi ZHONG Hongjie |
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