| MEMS冷气推力器的制作和热性能研究 |
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| 引用本文： | 康宝鹏,赵学聪,乔大勇,马志波,李昭,吴树范,张传鑫.MEMS冷气推力器的制作和热性能研究[J].推进技术,2017,38(7):1641-1647. |
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| 作者姓名： | 康宝鹏 赵学聪 乔大勇 马志波 李昭 吴树范 张传鑫 |
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| 作者单位： | 上海微小卫星工程中心，上海 201203; 中科院微小卫星重点实验室，上海 201203,上海微小卫星工程中心，上海 201203; 中科院微小卫星重点实验室，上海 201203,西北工业大学 空天微纳系统教育部重点实验室，陕西 西安 710072; 西北工业大学 陕西省微/纳米系统重点实验室，陕西 西安 710072,西北工业大学 空天微纳系统教育部重点实验室，陕西 西安 710072; 西北工业大学 陕西省微/纳米系统重点实验室，陕西 西安 710072,上海微小卫星工程中心，上海 201203; 中科院微小卫星重点实验室，上海 201203,上海微小卫星工程中心，上海 201203; 中科院微小卫星重点实验室，上海 201203,上海微小卫星工程中心，上海 201203; 中科院微小卫星重点实验室，上海 201203 |
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| 基金项目： | 中科院微小卫星重点实验室开放课题基金(KFKT13SYS1)；陕西省微/纳米系统重点实验室开放课题基金 |
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| 摘 要： | 为了研究MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)冷气推力器的热性能,介绍了一种MEMS冷气推力器的设计和制作,该推力器体积小(40mm×20mm×1mm),重量轻(1g),功耗低。对推力器加热丝不同电压和环境下进行了热仿真,对组装到电路板上的推力器模块进行了热测试。结果表明:常温常压下,8V的驱动电压,经过230s后,推力器加热丝的温度可达到80℃以上,与仿真结果趋势相同,可预见真空中,8V电压下可满足推进剂对加热腔温度的需求。
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| 关 键 词： | MEMS 微推力器 制作 加热丝 热特性 |
| 收稿时间： | 2016/3/3 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2016/5/3 0:00:00 |
Fabrication and Thermal Property Research of MEMS-Based Cold Gas Thruster |
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| KANG Bao-peng,ZHAO Xue-cong,QIAO Da-yong,MA Zhi-bo,LI Zhao,WU Shu-fan and ZHANG Chuan-xin.Fabrication and Thermal Property Research of MEMS-Based Cold Gas Thruster[J].Journal of Propulsion Technology,2017,38(7):1641-1647. |
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| Authors: | KANG Bao-peng ZHAO Xue-cong QIAO Da-yong MA Zhi-bo LI Zhao WU Shu-fan and ZHANG Chuan-xin |
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