激光干涉位移测量系统的环境误差补偿 |
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引用本文: | 曲军张国雄.激光干涉位移测量系统的环境误差补偿[J].航空发动机,2001(3):43-44. |
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作者姓名: | 曲军张国雄 |
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作者单位: | 1. 美国北卡州立大学机械与航空系,美国,27695 2. 天津大学精密仪器学院,天津,300072 |
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摘 要: | 激光干涉仪在长度测量领域应用十分广泛,然而其测量精度直接受环境的影响,特别是空气折射率变化会引入标尺误差。通过对激光干涉位移测量原理及其误差源的研究分析,建立了环境误差补偿模型,消除了零点误差和空气折射率误差。设计了分别适用于环境条件好、小量程测量的双干涉自补偿系统和适用于复杂环境、大量程测量的多点测量综合修正的补偿系统,对环境误差进行修正。
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关 键 词: | 激光干涉测量 空气折射率 实时补偿 零点误差 环境误差 |
修稿时间: | 2001年8月19日 |
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