|
|||||
|
|
| 数字相关滤波在精密位置检测中的应用 | |
| 引用本文： | 张建明.数字相关滤波在精密位置检测中的应用[J].航空维修与工程,1997(1):37-38,40. |
| 作者姓名： | 张建明 |
| 作者单位： | 中国航空精密机械研究所 |
| 摘 要： | 数字相关滤波精密检测是随着现代光电子技术、计算机技术的进步而发展起来的一门新兴技术，在现代制造业，尤其是在超大规模集成电路制造等领域中的非接触高精密测量方面具有重要的实用价值。本文通过实例，探讨了在非接触式精密位置检测与控制系统中的应用原理及实现方法 |
| 关 键 词： | 数字相关滤波 精密位置检测 非接触式检测 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |