| HFCVD系统热丝参数遗传优化 |
| |
| 引用本文： | 宋胜利,左敦稳,王珉,相炳坤,卢文壮,黎向锋.HFCVD系统热丝参数遗传优化[J].南京航空航天大学学报(英文版),2003,20(1):42-46. |
| |
| 作者姓名： | 宋胜利 左敦稳 王珉 相炳坤 卢文壮 黎向锋 |
| |
| 作者单位： | 1. 南京航空航天大学机电学院,南京,210016;中国解放军理工大学工程兵工程学院,南京,210007,中国
2. 南京航空航天大学机电学院,南京,210016,中国 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金 ( G5 0 0 75 0 3 9)资助项目~~ |
| |
| 摘 要： | 在热丝化学气相沉积金刚石系统中，衬底温度是影响金刚石成膜质量的关键因素之一。为了沉积大面积优质金刚石膜，必须对衬底表面温度的大小及均匀性实施有效控制。中通过应用遗传算法对热丝参数进行优化设计，保证了衬底在半径为Rs＝10cm的范围内具有较均匀的温度场，从而为大面积生长优质金刚石膜提供了可能。
|
| 关 键 词： | 热丝化学气相沉积 金刚石膜 衬底温度 影响因素 遗传算法 优化设计 |
GENETIC OPTIMIZATION OF HOT FILAMENT PARAMETERS IN HFCVD SYSTEM |
| |
| SONG Sheng-li,ZUO Dun-wen,WANG Min,XIANG Bing-kun,LU Wen-zhuang,LI Xiang-feng.GENETIC OPTIMIZATION OF HOT FILAMENT PARAMETERS IN HFCVD SYSTEM[J].Transactions of Nanjing University of Aeronautics & Astronautics,2003,20(1):42-46. |
| |
| Authors: | SONG Sheng-li ZUO Dun-wen WANG Min XIANG Bing-kun LU Wen-zhuang LI Xiang-feng |
| |
| Abstract: | In HFCVD system the substrate temperature is a key factor which deeply affects the quality of diamond films. Th e magnitude and the variation of the substrate temperature must be limited in a suitable range to deposit diamond films of uniform thickness over large areas. In this paper, the hot filament parameters are investigated on the basi s of GAs to realize a good substrate temperature profile. Computer simulations d emonstrate that on parameters optimized by GAs a uniform substrate temperatur e field can be formed over a relatively large circle area with R s=10 cm. |
| |
| Keywords: | hot filament chemical vapor deposition temperature field genetic algorithms optimization diamond fi lm |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
