基于斩波技术的静电悬浮加速度计驱动电路噪声抑制方法研究

静电悬浮加速度计驱动电路作为整机噪声的主要来源之一，其低频噪声性能直接决定静电悬浮加速度计整机分辨率。为满足静电悬浮加速度计驱动电路超低测量频带内（1mHz~1Hz）噪声均低于5×10-5V/Hz1/2要求，依据斩波稳定技术对于低频噪声的抑制作用，设计了基于斩波稳定技术的静电悬浮加速度计驱动电路。对实际电路进行测量，利用静电悬浮加速度计噪声曲线拟合测量结果。结果表明，经斩波后驱动电路低频噪声转折频率与低频噪声均下降一个数量级，在测量频带内电路噪声均低于2×10-5V/Hz1/2，满足了设计指标要求。