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射频集成微系统技术的发展与典型应用
作者姓名:杨进  张君直  朱健  韩磊  孙斌
作者单位:东南大学 集成电路学院MEMS教育部重点实验室,江苏 南京 210096;南京电子器件研究所,江苏 南京 210016;上海航天电子通讯设备研究所,上海 201109
基金项目:国家级预研项目(JZX7Y202306810000041)
摘    要:摩尔定律已经逐渐放缓,并越来越逼近其物理极限,但未来的射频系统仍然朝着更高集成度、更高性能、更高工作频率等方向发展,射频集成微系统技术是实现射频系统微型化的核心技术之一。本文首先对射频微系统的发展和现状进行了介绍,重点分析了美国国防高级研究计划局(DARPA)的微系统发展历程和经典项目,接着对射频微系统的技术路线和解决方案进行了梳理和总结,随后通过一系列典型应用案例,展现了最新的射频集成微系统技术,最后提出了射频集成微系统技术的进一步发展思路。

关 键 词:摩尔定律  射频(RF)  集成  微系统  解决方案
收稿时间:2023-11-18
修稿时间:2024-07-19
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