| 一种非接触光外差轮廓仪 |
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| 引用本文： | 尤政,李柱.一种非接触光外差轮廓仪[J].宇航计测技术,1992(4):17-21. |
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| 作者姓名： | 尤政 李柱 |
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| 作者单位： | 清华大学 博士后(尤政)，华中理工大学 教授(李柱) |
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| 摘 要： | 介绍了一种纳米级非接触超高精度光外差轮廓仪。该量仪是基于普通光路的外差干涉仪,两束具有微小频差的激光束照射到制件表面:其中一束光被会聚后作为测量光针扫瞄制件表面;另一束光则被用作参考光束。这两束光经反射后形成干涉,所得信号的光程差与制件表面高度变化成正比。量仪的横向分辩力小于2μm,垂直分辩力小于1nm。制件不需要进行大的调整。制件表面同时亦被作为测量参考面。经光电转换后,信号由微机处理,从而快速完成测量、计算、显示与打印各种参数与图形。
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| 关 键 词： | 光学测量 非接触测量 ~+光外差 ~+轮廓仪 表面粗糙度 |
A non-contact optical heterodyne profilometer |
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| You Zheng and Li Zhu.A non-contact optical heterodyne profilometer[J].Journal of Astronautic Metrology and Measurement,1992(4):17-21. |
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| Authors: | You Zheng and Li Zhu |
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| Institution: | You Zheng and Li Zhu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Optical measurement Contactless measurement Optical heterodyne Profile meter Surface roughness |
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