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高过载微惯性器件研究现状
作者姓名:刘俊  曹慧亮  石云波  唐军  申冲
作者单位:中北大学电子测试技术国防科技重点实验室,太原 030051
基金项目:国家自然科学基金(编号:51705477);中央军委装备发展部重点领域基金(编号:61405170104);山西省留学回国人员科技活动择优资助项目重点项目(编号:2018-008);装备预研兵器装备联合基金(编号:6141B021304);山西省应用基础研究计划项目(编号:201801D221195);航空科学基金项目(编号:2019080U0002);山西省专利推广实施资助专项项目(编号:2019025);中北大学青年学术带头人项目(编号:QX201809)
摘    要:微惯性器件是目前制导战术武器的核心元器件,具有成本低、体积小、寿命长等优点,但是其如何在火炮膛内、侵彻着靶等过程中存活甚至正常工作,一直是各军事大国科研院所发展精确打击制导武器的重要研究方向。查阅了相关国内外文献,然后详细评述了目前关于应用于高过载环境下的微机械陀螺与微机械加速度计研究现状,指出了目前高过载环境微惯性器件的发展趋势与各国的研究进程,为我国发展高过载微惯性器件提供了方向与指导。

关 键 词:高过载  惯性  传感器  陀螺  加速度计
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