| 分压力质谱计校准装置的不确定度分析 |
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| 引用本文： | 冯焱,李得天,张涤新,张建军.分压力质谱计校准装置的不确定度分析[J].航空计测技术,2002,22(6):35-40. |
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| 作者姓名： | 冯焱 李得天 张涤新 张建军 |
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| 作者单位： | 兰州物理研究所 甘肃兰州730000
(冯焱，李得天，张涤新)，兰州物理研究所 甘肃兰州730000(张建军) |
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| 摘 要： | 介绍了分压力质谱计校准装置的结构，工作原理及分压力测量方法，对分压力测量和灵敏度校准的不确定度进行了分析。
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| 关 键 词： | 分压力 质谱计 校准装置 不确定度 |
| 文章编号： | 1002-6061(2002)06-0035-06 |
| 修稿时间： | 2002年6月24日 |
Uncertainty Analysis of Calibration System of Mass Spectrometers for Partial Pressure |
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| Feng Yan,Li De tian,Zhang Di xin,Zhang Jian jun.Uncertainty Analysis of Calibration System of Mass Spectrometers for Partial Pressure[J].Aviation Metrology & Measurement Technology,2002,22(6):35-40. |
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| Authors: | Feng Yan Li De tian Zhang Di xin Zhang Jian jun |
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| Abstract: | The construction of the calibration system of mass spectrometers for partial pressure,its principle and measurement methods also are introduced.In addition, the uncertainty analysis of partial pressure measurement and sensitivity calibration are presented. |
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| Keywords: | partial pressure mass spectrometer calibration uncertainty |
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