微机械加速度计

本文论述微机械加速度计，主要介绍它们的工作原理和设计规范，以及各种装置的结构，装配技术以及设备的技术，封装和界面电子电路，还有微机械惯性传感器在商业化过程中的发展行情，惯性传感性能在不断提高，如今的微加速度计的分辨率达ug级，电路和封装技术的发展满足了惯性传感器发展的需求。