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| 波面激光干涉仪在超精密加工中的应用 | |
| 引用本文： | 刘勇,徐昌语,王帼媛,刘祎,张建明.波面激光干涉仪在超精密加工中的应用[J].航空精密制造技术,2013(4). |
| 作者姓名： | 刘勇 徐昌语 王帼媛 刘祎 张建明 |
| 作者单位： | 北京航空精密机械研究所,北京,100076 |
| 摘 要： | 介绍了超精密加工的发展趋势和技术特点，介绍了波面激光干涉仪的测量原理及使用技巧，重点阐述了如何在超精密加工的多个环节，如工件检测、精密对刀、误差补偿中发挥波面激光干涉仪的作用。 |
| 关 键 词： | 波面激光干涉仪 超精密加工 测量 |
Application of Wave Laser Interferometer in Ultra-precision Machining |
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| Abstract: | |
| Keywords: | wave laser interferometer ultra-precision machining measurement |
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