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| 精密工程中应用的宽范围原子力显微镜的研究 | |
| 引用本文： | 张鸿海,曹伟,江福祥,李文菊,周学夫,师汉民,陈日曜,熊良山.精密工程中应用的宽范围原子力显微镜的研究[J].航空精密制造技术,1995(1). |
| 作者姓名： | 张鸿海 曹伟 江福祥 李文菊 周学夫 师汉民 陈日曜 熊良山 |
| 作者单位： | 华中理工大学 |
| 摘 要： | 描述了一种用于精密工程中超精密测量的宽范围原子力显微镜．用管状扫描器工作时，测量范围可达２μｍ×２μｍ，能获得原子级的分辨率．当用新开发的定范围工作台扫描时，测量范围可为１４０μｍ×１４０μｍ；分辨率可在１～１００ｎｍ之间调节． |
| 关 键 词： | 精密工程，纳米精度测量，原子力显微镜，宽扫描范围 |
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