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| 2000年的半导体技术 | |
| 引用本文： | 方次尹.2000年的半导体技术[J].航空精密制造技术,1995(3). |
| 作者姓名： | 方次尹 |
| 摘 要： | ２０００年的半导体技术１制造技术规模，将持续发展．到２０００年将获得１Ｇｂｉｔ１Ｃ样品（线宽０１５－２０μｍ）；探明线条（Ｃｕｒｖｅ）密度、性能、可靠性和成本极限；２．设计技术：容量和生产率将按比例上升．到２０００年，单个芯片系统上可集成１００Ｍ个晶... |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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