| 论微电子机械系统MEMS |
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| 引用本文： | 鄢云.论微电子机械系统MEMS[J].西安航空技术高等专科学校学报,2004,22(3):32-34. |
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| 作者姓名： | 鄢云 |
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| 作者单位： | 西安航空技术高等专科学校,科技处,陕西,西安,710077 |
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| 摘 要： | 简介了微电子机械系统MEMS的基本概念、构成及显著特点 ,并对微电子机械系统的典型器件如传感器 ,执行器等作了介绍与分析 ,提出了微系统之间要研究的问题 ;探讨了微电子机械系统的发展应用前景
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| 关 键 词： | 微电子机械系统 集成 微传感器 微执行器 微结构器件 微系统 |
| 文章编号： | 1008-9233(2004)03-0032-03 |
| 修稿时间： | 2004年2月18日 |
A Probe on Micro Electro Mechanical System |
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| YAN Yun.A Probe on Micro Electro Mechanical System[J].Journal of Xi'an Aerotechnical College,2004,22(3):32-34. |
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| Authors: | YAN Yun |
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| Abstract: | The essay introduces the basic concept of MEMS and its constrcture as well as well as notable devices such as sensor, acutuator with detailed analysis. Issuing questions existed between micro systems,and summarized MEMS future application. |
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| Keywords: | MEMS IC Sensor Actuator Micro Structure Device Micro System |
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