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| 激光干涉法近场扫描架平面度高精度测量及误差分析 | |
| 引用本文： | 王宏伟,张文雯.激光干涉法近场扫描架平面度高精度测量及误差分析[J].航空计测技术,2013(2):51-54. |
| 作者姓名： | 王宏伟 张文雯 |
| 作者单位： | 四川航天计量测试研究所 |
| 摘 要： | 根据近场扫描架的结构和运动特点,运用非封闭网格法布线,通过双频激光干涉仪及其直线度附件来采集各条线在Z向的直线度,用最小二乘法求出扫描架X轴和Y轴所走轨迹扫描而成平面的平面度,并分析了影响直线度测量的误差因素。 |
| 关 键 词： | 激光干涉仪 平面度 最小二乘法 误差因素分析 |
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