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| 声表面波器件刻图装置 | |
| 摘 要： | 本装置用于表面波器件刻图 ,其脉冲压缩系统中采用声表面波色散延迟线做匹配过滤器。其性能如下 :ｆ0 =30ＭＨｚ ;△ｆ =5ＭＨｚ ;Ｔ =50 μｓ(是由两级Ｔ′ =2 5μｓ子器件组成的 ,ｆ=30ＭＨｚ ;△ｆ=5ＭＨｚ ,副瓣电平 -30ｄＢ ,压缩脉冲宽 0 .32 μｓ) ;副瓣电平 2 4 .5ｄＢ ;脉冲展宽系数 1.7;压缩脉宽 0 .34μｓ ;可刻图面积为 50 0ｍｍ×90 0ｍｍ ;刻图精度 10 μｍ。本成果已超过国内 2 0 μｍ的刻图精度水平。声表面波器件刻图装置… |
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