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| 微机械及其加工综述 | |
| 引用本文： | 吴敏镜.微机械及其加工综述[J].航天制造技术,1997(1):19-24. |
| 作者姓名： | 吴敏镜 |
| 作者单位： | 北京兴华机械厂 |
| 摘 要： | 1引言80年代后期微电子机械系统（Micro－electron－mechnicalsystem）出现，引起了一场科技战线上的革命，这是一种启动技术，又是一种交叉的边缘学科，使人们从宏观走向微观，被喻为对世纪的技术。近几年来，周围也出现了不少令人振奋的信息。1995年在清华大学举办了一次与微机械有关的研讨，长春光机所研制成了一个φ3mm外径的微电机，接着在1996年863成果展示会上上海交大也展出了一个直径为碰mm的微电机，1994年为了超精密加工的检测问题，在中国科学院化学所。见到了扫描隧道显微镜，原子力显微镜，1995年底航天系统在探讨951艺规划… |
| 关 键 词： | 微电子机械 微机械 加工工艺 |
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