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硫化锌基底增透膜工艺研究
引用本文:赵强.硫化锌基底增透膜工艺研究[J].航天制造技术,1992(5):12-13,18.
作者姓名:赵强
作者单位:天津光电技术研究所
摘    要:叙述了在硫化锌(ZnS)基底上制备8~12μm波段红外增透膜的工艺研究,包括膜系设计与选择、薄膜制备工艺试验和研究,并给出了相应的红外增透膜透过性能的测试结果。

关 键 词:硫化锌  红外增透膜  工艺过程  工艺参数
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