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| 激光雷达计量系统提高了零件的测量精度 | |
| 引用本文： | 丁新玲.激光雷达计量系统提高了零件的测量精度[J].航天制造技术,2012(1):70. |
| 作者姓名： | 丁新玲 |
| 摘 要： | 大型光学元件制造过程缓慢,制造能力往往受限于测量能力,纳米精度测量技术出现时,大型光镜测量精度一般受限于亚毫米级,采用激光雷达仪器测量光学表面粗糙度时,由于可在制造过程的任何阶段进行检查而不用移动抛光装置上的镜面,因而大大提高了测量的准确性。目前,激光雷达计量系统不仅可以测量工件的在 |
| 关 键 词： | 激光雷达 计量系统 测量精度 制造过程 纳米精度测量 大型光学元件 表面粗糙度 测量能力 抛光装置 制造能力 |
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