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| 光电微系统技术发展综述 | |
| 作者姓名： | 崔大圣 刘峰 王璇 文艺 |
| 作者单位： | 北京遥测技术研究所 北京 北京宇航系统工程研究所 北京,北京遥测技术研究所 北京 北京宇航系统工程研究所 北京,北京遥测技术研究所 北京 北京宇航系统工程研究所 北京,北京宇航系统工程研究所 |
| 摘 要： | 光电微系统具有探测精度高、处理速度快、传输通量大等优势,在信息传输、目标探测和光子处理等方面具有广泛应用.本文综合国内外光电微系统产品和技术现状,重点从信息传输、目标探测和光子处理三个方面展开叙述,讨论了激光器、调制器、波导等光电器件,并对三维集成技术和光电微系统平台进行简介.简述了国内外有关光电微系统的发展计划,提出... |
| 关 键 词： | 光电微系统 三维集成 光电器件 |
| 收稿时间： | 2021-05-26 |
| 修稿时间： | 2021-09-07 |
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