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| 三维随机振动环境下MEMS加速度计输出特性分析 | |
| 作者姓名： | 孙丽艳 张帅 李鹏 张宏彬 陈东海 |
| 作者单位： | 北京航天控制仪器研究所,北京,100039 |
| 摘 要： | 对MEMS惯性测量单元进行了三维随机振动试验,初步探讨了MEMS惯性测量单元在三维振动试验条件下的故障模式:3个轴的MEMS加速度计均出现了零位偏移,该现象在单轴振动试验环境中并没有出现.从理论和仿真分析了该现象产生的机理,提出了解决办法并通过了试验验证.结果表明:三维振动比单轴的振动更能接近真实的振动环境,结构被激发的模态更丰富.通过采取措施,减小了加速度计的零偏值,从9.4m/s2降至1.97m/s2. |
| 关 键 词： | 三维随机振动 加速度计零位偏移 结构模态 |
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