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| 柔性八杆对称联动定位机构及系统的研究 | |
| 引用本文： | 王建林.柔性八杆对称联动定位机构及系统的研究[J].航空精密制造技术,2001,37(3):31-34. |
| 作者姓名： | 王建林 |
| 作者单位： | 北京化工大学, |
| 摘 要： | 以柔性铰链为弹性导轨、压电陶瓷为驱动器，提出了一种新颖的纳米级柔性八杆对称联动定位机构，给出了其刚度公式和动力学模型，结合激光干涉仪微位移检测装置，设计并研制了微机控制的数字闭环控制纳米定位系统。实验表明：该纳米定位系统行程 10μ m，定位精度优于± 0.03μ m，定位分辨率 3nm，最大定位时间 40ms。 |
| 关 键 词： | 柔性铰链 压电陶瓷 柔性八杆对称联动机构 数字闭环控制系统 |
| 文章编号： | 1003－5451(2001)03－0031－04 |
| 修稿时间： | 2001年10月31 |
A Study on Flexure Eight－ bars Symmetric Linkage Nanopositioning Mechanism and Its System |
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