用光刻法加工金属精密零件

引 言 光刻是一种精密的表面加工技术,是由照相和化学腐蚀相结合,在集成电路和半导体器件表面修刻的关键工艺。它最初出现在印刷照相制版上,由照相和化学腐蚀技术制取印刷用凸版,在1942年Fanl Zisla(英)发明了印刷布线技术,逐渐作为微细图形表面加工的方法推广到印刷电路中去。