装配式惯性开关的兆声辅助微电铸均匀性研究

在装配式惯性开关的电铸过程中，电场的边缘效应干扰了电力线在阴阳极间的均匀分布，导致铸层厚度均匀性问题突显，使得制作周期延长。为了缩短装配式惯性开关的制作周期，将兆声波引入到微电铸过程，以装配式惯性开关中电铸均匀性最差的滑块结构为例，开展改善微电铸层均匀性的研究工作。首先，利用COMSOL仿真分析软件对滑块结构有、无兆声波辅助条件下的微电铸加工过程中的电流密度分布和铸层厚度分布进行仿真。仿真结果表明，相对于无兆声波辅助微电铸加工，兆声波辅助微电铸加工可以有效改善铸层厚度均匀性。兆声波功率密度越大，铸层厚度均匀性越好。在数值模拟的基础上，对兆声波辅助电铸过程展开试验研究。试验结果表明，相对于无兆声波辅助微电铸加工，双向加载2.4 W/cm²的兆声波辅助微电铸加工的铸层厚度均匀性提高了51.78%，试验与仿真结果趋势一致。基于仿真和试验结果，将双向加载2.4 W/cm²的兆声波引入微电铸工艺，制作了总体尺寸20 mm×20mm、总高度900μm，符合设计要求的装配式惯性开关。与无兆声波辅助微电铸制作完成的装配式惯性开关相比，制作时间缩短了25%。