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| Ф300mm大口径平面等厚干涉仪波面数字化技术改造 | |
| 作者姓名： | 王青 高志山 李致新 张永宁 赵东升 胡中 何跃 |
| 作者单位： | [1]南京理工大学电光学院,江苏南京210094 [2]北方夜视科技集团有限公司检验计量部,云南昆明650114 |
| 摘 要： | 介绍了把Ф300 mm口径平面等厚干涉仪改造为移相式数字平面干涉仪的基本情况。改造后的仪器采用液面基准的系统误差校准方法,在Ф300 mm口径时的最大允许误差为76 nm（PV值）,测量重复性为4 nm,满足相关使用要求。 |
| 关 键 词： | 波面数字化 移相干涉 液面基准 技术改造 |
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