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纳米级三维测量仪
引用本文:
周.纳米级三维测量仪[J].航空精密制造技术,1993(4).
作者姓名:
周
摘 要:
日本エソオニクス最近开发了纳米级的三维测量仪,它是在扫描式电子显微镜上安装了数个二次电子检出器,经过积分信号处理等过程,能真实地显示表面形貌。用于观测金刚石刀头尖端半径、各种盘面和结晶生长过程。
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