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| 准分子激光加工表面轮廓的分形分析 | |
| 引用本文： | 蔡伟群 ,陈志新,谢世坤.准分子激光加工表面轮廓的分形分析[J].航天制造技术,2003(3):8-12. |
| 作者姓名： | 蔡伟群 陈志新 谢世坤 |
| 作者单位： | 华东理工学院(蔡伟群 )，南昌大学机电学院 (陈志新)，南昌大学机电学院(谢世坤) |
| 摘 要： | 准分子激光加工是解决MEMS中微摩擦问题的手段之一。通过研究准分子激光加工表面轮廓的分形特性,探索准分子激光加工表面轮廓分析中的应用问题,如分形参数表征和分形插值模拟等。 |
| 关 键 词： | 准分子激光加工 IFS 分形 |
| 修稿时间： | 2003年2月9日 |
Fractal Analysis of Quasi- Molecule Laser Processed Surface Contour |
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