节距法测量平面度时布线布点的研究

用节距法测量半面度误差的准确度与测量时布线布点的方式有很大关系。为此,对布线布点的原则、方式、特点及其误差进行了研究。介绍了上述研究结果,并建议优先选用米字型布点法。