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| 基于反相取消结构的全差分微陀螺仪馈通取消电路 | |
| 作者姓名： | 吴雨婷 张卫平 刘敏茜 谷留涛 崔峰 |
| 作者单位： | 上海交通大学 微米/纳米加工技术全国重点实验室； 上海交通大学 电子信息与电气工程学院 微纳电子学系 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金项目（61574093）；上海市专业技术服务平台（19DZ2291103） |
| 摘 要： | 由于加工工艺和测试环境的限制,基于MEMS工艺制备的微陀螺仪存在寄生馈通电容,严重干扰信号的检测。而常用的馈通取消方法依赖于微陀螺仪和电路的对称性,难以有效地消除馈通信号。针对以上问题,通过建立包含馈通电容的RLC等效电路模型,分析馈通效应的影响,提出一种结合双边反相取消结构的全差分馈通取消电路,利用反相取消结构调节由差分电路的不对称性所引起的馈通误差,该方法可以在提高驱动力的同时有效消除馈通信号。以方形质量块微振动陀螺仪为研究对象,测试采用该方法取消馈通后的检测信号信噪比(SNR)为25.57dB,相比馈通取消前信噪比提高了13.32倍。测试结果表明该方案能有效地补偿馈通电流并提高微陀螺仪的信号检测性能。 |
| 关 键 词： | MEMS陀螺仪 馈通取消 全差分电路 开环测试 |
Fully Differential Cancellation Circuit for Micro Gyroscope Based on Inverse Cancellation Structure |
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| Authors: | WU Yuting ZHANG Weiping LIU Minqian GU Liutao CUI Feng |
| Institution: | National Key Laboratory of Advanced Micro and Nano Manufacture Technology; Department of Micro/Nano Electronics, School of Electronic Information and Electrical Engineering, Shanghai Jiao Tong University;National Key Laboratory of Advanced Micro and Nano Manufacture Technology, Shanghai Jong Tong University |
| Abstract: | |
| Keywords: | MEMS gyroscope feedthrough cancellation fully differential circuit open loop test |
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