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| 气压对MEMS梳状线振动陀螺仪影响的研究 | |
| 引用本文： | 郭秋芬,孙枫,郝燕玲,李峰,朱强.气压对MEMS梳状线振动陀螺仪影响的研究[J].宇航学报,2009,30(3). |
| 作者姓名： | 郭秋芬 孙枫 郝燕玲 李峰 朱强 |
| 作者单位： | 1. 航天科工惯性技术有限公司,北京,100070;哈尔滨工程大学,哈尔滨,150001 2. 哈尔滨工程大学,哈尔滨,150001 3. 航天科工惯性技术有限公司,北京,100070 |
| 基金项目： | 微型陀螺姿态测量与稳定技术项目 |
| 摘 要： | MEMS梳状线振动陀螺仪阻尼包括结构阻尼和流体(空气)阻尼,而对于此种结构而言,空气黏性阻尼比结构阻尼大的多.由于气压的变化会引起空气黏性系数的变化,因而会引起MEMS梳状线振动陀螺仪谐振频率、阻尼系数、零偏等参数的变化.因此,研究气压变化对MEMS梳状线振动陀螺仪的影响是非常必要的.根据MEMS梳状线振动陀螺仪的结构特点,建立了压膜阻尼和库埃特流阻尼模型及气压与阻尼的关系模型,研究了气压对两种阻尼的影响以及对MEMS梳状线振动陀螺仪输出电压的影响.通过研究分析可知,气压在小于一个大气压时对压膜阻尼系数的影响很大,进而对MEMS梳状线振动陀螺仪输出的幅值影响也较大.气压在接近或者大于一个大气压时,MEMS梳状线振动陀螺仪随着气压的变化不大,因此将此种陀螺仪的气压控制在一个大气压. |
| 关 键 词： | MEMS梳状线振动陀螺仪 阻尼系数 气压 黏性系数 |
Pressure Influence Research for MEMS Comb Linear Vibrated Gyroscope |
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| GUO Qiu-fen,SUN Feng,HAO Yan-ling,LI Feng,ZHU Qiang.Pressure Influence Research for MEMS Comb Linear Vibrated Gyroscope[J].Journal of Astronautics,2009,30(3). | |
| Authors: | GUO Qiu-fen SUN Feng HAO Yan-ling LI Feng ZHU Qiang |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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