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| 测量超光滑表面粗糙度参数的反散射计算研究 | |
| 引用本文： | 曹麟祥,张家喜.测量超光滑表面粗糙度参数的反散射计算研究[J].宇航计测技术,1993,12(2):1-3,57. |
| 作者姓名： | 曹麟祥 张家喜 |
| 作者单位： | 西北工业大学，西北工业大学 教授 710072，副教授 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(高技术)资助项目 |
| 摘 要： | 介绍一种高分辨力、无接触式测量超光滑表面粗糙度参数的反散射计算测量技术。实现该技术的测量装置的角分辨力为0.1°。它可以测量导体或非导体表面纳米级精确度的粗糙度。 |
| 关 键 词： | 非接触测量 表面粗糙率 光散射 Contactless measurement Surface roughness Light scattering Calculation method |
Investigation of inverse scattering calculation for measuring roughness parameters of super-smooth surface |
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| Cao Linxiang and Zhang Jiaxi.Investigation of inverse scattering calculation for measuring roughness parameters of super-smooth surface[J].Journal of Astronautic Metrology and Measurement,1993,12(2):1-3,57. | |
| Authors: | Cao Linxiang and Zhang Jiaxi |
| Institution: | Cao Linxiang and Zhang Jiaxi |
| Abstract: | |
| Keywords: | Contactless measurement Surface roughness Light scattering Calculation method |
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