| 光刻技术在整体式层板催化剂床研究中的应用 |
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| 引用本文： | 宁建华,雷娟萍.光刻技术在整体式层板催化剂床研究中的应用[J].火箭推进,2006,32(6):43-47. |
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| 作者姓名： | 宁建华 雷娟萍 |
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| 作者单位： | 西安航天动力研究所,陕西,西安,710100 |
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| 摘 要： | 采用自主设计研制的高精度双面自对准光刻模具和标准MEMS光刻工艺技术研制出整体式层板催化剂床板片,简要介绍了光刻工艺原理、工艺流程和工艺过程。光刻加工出的板片满足设计要求,板片经过电镀和真空扩散焊接工艺形成了整体式催化剂床,该床成功地通过了热点火试车。催化剂床床载为16.5g/(cm2·s),分解效率为97%,室压粗糙度小于2%。
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| 关 键 词： | 光刻 整体式催化剂床 过氧化氢催化分解 |
| 文章编号： | (2006)06-0043-05 |
| 收稿时间： | 2006-04-06 |
| 修稿时间： | 2006-09-10 |
Application of photoetching in the integral catalyst bed |
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| Ning Jianhua,Lei Juanping.Application of photoetching in the integral catalyst bed[J].Journal of Rocket Propulsion,2006,32(6):43-47. |
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| Authors: | Ning Jianhua Lei Juanping |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | photoetching integral catalyst bed H2O2 catalytic decomposition |
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