| 航空发动机涡轮叶片原位集成高温MEMS 传感器的研制 |
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| 引用本文： | 段力,高均超,丁桂甫,邵靖,毛成龙,沈杰,静波.航空发动机涡轮叶片原位集成高温MEMS 传感器的研制[J].航空发动机,2018,44(4):56-60. |
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| 作者姓名： | 段力 高均超 丁桂甫 邵靖 毛成龙 沈杰 静波 |
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| 作者单位： | 上海交通大学电子信息与电气工程学院;苏州泰斯特测控科技有限公司;上海中航商用航空发动机制造有限责任公司;上海交通大学机械与动力工程学院 |
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| 摘 要： | 为了满足智能高性能航空发动机高温、高振动、高冲击的苛刻工作要求,采用MEMS(Micro-elect ro-mechanical-syst em,微机电系统)薄膜技术制作了发动机涡轮叶片原位集成高温温度传感器,并进行了高温下的温度试验和振动冲击试验。试验结果表明:热电阻传感器温度的线性良好,可以实现在高温环境下的温度控制;叶片原位温度传感器及其连线系统可以在规定的苛刻的振动与冲击试验指标下安全、可靠地工作,振动与冲击之后连接特性没有变化。将该原位集成传感器应用在涡轮叶片表面,不仅可以原位测量800℃的环境温度,而且具有很高的机械强度,可以承受40g的振动和100g的冲力。
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| 关 键 词： | 高温测量技术 传感器 抗振动 抗冲击 航空发动机 |
A Robust Embedded MEMS High-temperature Sensor for Aero-engine Turbine Blade |
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| Authors: | DUAN Li GAO Jun-chao Ding Gui-fu SHAO Jing MAO Cheng-long SHEN Jie JING Po |
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