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| MOCVD法制备高温抗氧化铱涂层研究进展 | |
| 作者姓名： | 阎鑫%张秋禹 |
| 作者单位： | 西北工业大学化学工程系,西安,710072 |
| 基金项目： | 航空资助项目:00 G53 066 |
| 摘 要： | 主要概述了用MOCVD法制备金属铱涂层的原理以及工艺参数对制备涂层的影响,并对铱做保护层的铱／铼喷管的寿命进行了预测。指出MOCVD法制备铱涂层的关键问题是沉积前驱体的选择、沉积工艺参数的优化,并对MOCVD法制备铱涂层的最新研究进展作了评述,指出了今后的研究发展方向。 |
| 关 键 词： | MOCVD法 制备 抗氧化 铱涂层 抗高温氧化金属涂层 沉积工艺 参数优化 |
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