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| 长光栅镀膜机 | |
| 引用本文： | 傅于斌.长光栅镀膜机[J].航空制造技术,1985(8). |
| 作者姓名： | 傅于斌 |
| 作者单位： | 三○三所 |
| 摘 要： | 长光栅镀膜机是目前国内唯一一台专用长光栅镀膜机。近年来,随着数控、数显技术的发展,长光栅得到了日益广泛的应用。国内外高精度长度计量仪器和自动化加工装备,其基准检测元件大多采用长光栅。长光栅的制造水平(包括精度、均匀性、直流电平漂移,线条质量等)在很大程度上决定了这些设备的质量和先进性。在制造长光栅的复杂工艺过程度中,镀膜机及镀膜工艺是其主要关键之一。过去国内镀制长光栅尺都是在普通真空镀 |
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