纳米计量与分子坐标测量机系统设计(1) |
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引用本文: | 王佳.纳米计量与分子坐标测量机系统设计(1)[J].航空计测技术,1996,16(2):37-40. |
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作者姓名: | 王佳 |
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作者单位: | 清华大学精密仪器系!北京市,100084 |
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摘 要: | 从纳米计量学与纳米计量测试的基本概念和基本要求出发,参考有关国外文献,编译了这篇文章,介绍纳米计量学和分子坐标测量机的研究成果。对从事这方面研究的科研人员具有一定的参考价值。文章中首先讨论纳米计量学的概念及其测量不确定度标准,实现,纳米计量的手段-建立分子坐标测量机;叙述了分子测量机设计概念和原则;并于分子测量机机械设计,主要讨论了隔离机械振动,热源,声振动等,二维导轨结构,探针安装结构选择等;计
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关 键 词: | 纳米计量学 分子坐标测量机 标定 |
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