| 大量程纳米分辨率超精密测径仪 |
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| 引用本文： | 陈智锋,吕海宝,张绍宗. 大量程纳米分辨率超精密测径仪[J]. 航空精密制造技术, 2001, 37(4): 32-34 |
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| 作者姓名： | 陈智锋 吕海宝 张绍宗 |
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| 作者单位： | 国防科技大学,;中国航空精密机械研究所, |
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| 摘 要： | 提出了一种新型可以测量孔和轴直径的超精密测量仪,该超精密测径仪主要由炫耀光栅和气浮导轨及红宝石探头组成,采用接触式绝对测量方法。介绍了环境温度的控制和减小环境振动的手段,以保证测量的精度和重复性。这种新型测径系统分辨率可以达到1nm,量程范围可达 0～100mm。
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| 关 键 词： | 超 精 密 炫 耀 光 栅 直 径 测 量 |
| 文章编号： | 1003-5451-2001(04)-32-03 |
| 修稿时间： | 2001-02-19 |
A Novel Wide Range Nano- resolution Ultra- precise Diameter Measurement Instrument |
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| Chen Zhifeng, Lu Haibao, Zhang Shaozong. A Novel Wide Range Nano- resolution Ultra- precise Diameter Measurement Instrument[J]. Aviation Precision Manufacturing Technology, 2001, 37(4): 32-34 |
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| Authors: | Chen Zhifeng Lu Haibao Zhang Shaozong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ultra-precision blazed grating diameter measurement |
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