| 基于双层薄膜热电偶的热障涂层隔温温度精确测量 |
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| 引用本文： | 段力,翁昊天,姬中林,谢子仪,邹兵林,王盈.基于双层薄膜热电偶的热障涂层隔温温度精确测量[J].航空发动机,2020,46(5):49-54. |
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| 作者姓名： | 段力 翁昊天 姬中林 谢子仪 邹兵林 王盈 |
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| 作者单位： | 上海交通大学电子信息与电气工程学院,上海200240,上海交通大学电子信息与电气工程学院,上海200240,上海交通大学电子信息与电气工程学院,上海200240,上海交通大学电子信息与电气工程学院,上海200240,中国科学院长春应用化学研究所,长春130022,中国科学院长春应用化学研究所,长春130022 |
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| 摘 要： | 为了解决热障涂层隔温温度测量方法缺乏规范性及精确测量体系欠缺的问题，提出在热障涂层上、下两侧制作薄膜型
热电偶测量热障涂层隔温温度的试验方案，利用MEMS 工艺在热障涂层两侧实现Pt/PtRh 薄膜型（< 1 um 厚）热电偶微制造工艺，
进行热障涂层在高温热流动态环境下的隔温效果初步测定试验，并提出1 种热障涂层隔温效果的标准化测量体系与测量规范。结
果表明：该Pt/PtRh 薄膜型传感器可以测量1200 ℃左右的高温。
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| 关 键 词： | 热障涂层 温度测量 薄膜传感器 微制造集成技术 隔温温度 航空发动机 |
Accurate Measurement of Insulation Temperature of Thermal Barrier Coatings Based on Dual Thin-film
Thermocouples |
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| Authors: | DUAN Li WENG Hao-tian JI Zhong-lin XIE Zi-yi ZOU Bing-lin WANG Ying |
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