| YAG单晶基片的精密抛光及SPM检测 |
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| 引用本文： | 史兴宽,徐传义,任敬心,董申. YAG单晶基片的精密抛光及SPM检测[J]. 航空精密制造技术, 2000, 36(2): 5-8 |
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| 作者姓名： | 史兴宽 徐传义 任敬心 董申 |
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| 作者单位： | 西北工业大学精密超精密加工技术研究室,西安 7100732;哈尔滨工业大学,哈尔滨 150001 |
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| 基金项目： | 航空基础科学基金,西北工业大学校科研和教改项目,,,, |
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| 摘 要： | 利用扫描探针显微镜(SPM)对YAG单晶基片精密加工表面进行了检测,获得了YAG单晶基片表面及表面层的基本特征,表明了SPM作为表面物理量检测是一种重要显微工具.
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| 关 键 词： | 钇铝石榴石晶体 基片 表面测试 SPM |
| 文章编号： | 1003-5451(2000)02-0005-03 |
| 修稿时间： | 1999-10-22 |
Measuring the Precision Machining Surface of YAG Crystalline Substrates with SPM |
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| Shi Xing-kuan, Xu Chuan-yi,Dong shen et al.. Measuring the Precision Machining Surface of YAG Crystalline Substrates with SPM[J]. Aviation Precision Manufacturing Technology, 2000, 36(2): 5-8 |
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| Authors: | Shi Xing-kuan Xu Chuan-yi Dong shen et al. |
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| Abstract: | With the Scanning Probe Microscope(SPM),the precision machining surface of YAG substrates is measured.As a result,the fundamental characteristics of YAG crystalline substrates have been obtained.So,the important role of SPM played in the surface measurement is demonstrated. |
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| Keywords: | YAG crystalline substrate surface measuring SPM |
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