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气相沉积技术在产品中的应用及发展
引用本文:郑秋麟,佟向鹏.气相沉积技术在产品中的应用及发展[J].航空精密制造技术,2013,49(2).
作者姓名:郑秋麟  佟向鹏
作者单位:1. 北京青云航空仪表有限公司,北京,100086
2. 海军驻北京地区军事代表处,北京,100854
摘    要:以某系列产品中端面齿盘采用离子镀加工为例,重点介绍了气相沉积技术中的真空离子镀技术在产品上的应用过程,并以此为基础,阐述了气相沉积技术在航空产品生产中的应用前景.

关 键 词:气相沉积  PVD  离子镀  氮化钛  航空产品表面处理

Application and Prospect of Vapour Deposition Technique in Product
ZHENG Qiu-lin , TONG Xiang-peng.Application and Prospect of Vapour Deposition Technique in Product[J].Aviation Precision Manufacturing Technology,2013,49(2).
Authors:ZHENG Qiu-lin  TONG Xiang-peng
Abstract:
Keywords:vapour deposition  physical vapour deposition  ion plating  titanium nitride  aviation product surface treatment
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