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| 微机械速率陀螺的新设计,读出思想的仿真方法 | |
| 作者姓名： | Geiger W 陈志勇 |
| 摘 要： | 本文报告了以激励和检测模态解耦为特色的振动式梳齿驱动速率陀螺的新设计。进行了分析计算及有限元法仿真和系统仿真。研究了怎样克服这些传感器的主要缺点，特别是两个振动模态诉不一致，带宽不足和上浮效应。展示了静电控制谐振频率和带的原理和仿真结果。在这些原理中，不需要器件的机械平衡，这样就减少了校准费用。对一种新的准旋转速率陀螺的仿真显示，只用６ｍｍ＾２的传感器面积就可以在５０ＨＺ带宽下达到０．１ |
| 关 键 词： | 微机械 速率陀螺 陀螺仪 设计 仿真 |
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