具有集成光学敏感的微机电振动惯性传感器

设计和制造微机电系统（ＭＥＭＳ）是全球日益关注的新技术。这一新兴的工程领域的技术目的是实现有微机电相关集成的微机械系统。在众多的新颖应用中，惯性敏感器件成为一个倍受关注的领域和研发热点。大多数的工作集中于振动惯性敏感器件，其中，传感器的动态运动依惯性测量参数的不同而变化。