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真空弹性敏感元件检漏技术

引用本文：	李於杰.真空弹性敏感元件检漏技术[J].航空精密制造技术,1991(1).

作者姓名：	李於杰

摘要：	本文介绍了不同结构的真空弹性敏感元件检漏技术,列出了各种检漏法漏率的计算方法和公式。
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