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| 替代CFC—113清洗工艺的发展动向 | |
| 引用本文： | 赵本信.替代CFC—113清洗工艺的发展动向[J].航天制造技术,1996(2):44-47. |
| 作者姓名： | 赵本信 |
| 作者单位： | 北京计算机技术及应用研究所 |
| 摘 要： | 主要介绍国内外替代ＣＦＣ－１１３（氟里昂）清洗工艺的原因，美日对此工艺研究进展情况，国内替代ＣＦＣ－１１３清洗工艺研究也在进行之中，替代ＣＦＣ－１１３清洗工艺势在必行。 |
| 关 键 词： | 清洗，电子元件，环境保护 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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