| 面向地球物理应用的高精度MEMS惯性传感器 |
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| 引用本文： | 王秋,刘骅锋,涂良成.面向地球物理应用的高精度MEMS惯性传感器[J].导航与控制,2018(6):1-9. |
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| 作者姓名： | 王秋 刘骅锋 涂良成 |
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| 作者单位： | 华中科技大学地球物理研究所，武汉 430074；重力导航教育部重点实验室，武汉 430074,华中科技大学地球物理研究所，武汉 430074；重力导航教育部重点实验室，武汉 430074,华中科技大学地球物理研究所，武汉 430074；重力导航教育部重点实验室，武汉 430074 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(编号：61306095, 61574067）；中国航天科技集团“CAST-BISEE创新基金”重点项目(编号：CAST-BISEE2017-019）；国家重点研发计划“深地资源勘察开采”专项(编号： 2017YFC0601603, 2018YFC0603301） |
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| 摘 要： | 微机电系统(Micro Electro Mechanical System，MEMS）惯性传感器具有体积小、质量小、成本低等优势，已经在消费电子、工业、医疗、军事、航空航天等领域得到广泛应用。随着精度的不断提高，近年来MEMS惯性传感器在地球物理领域已经开始崭露头角，但是其在该领域中的具体应用需求还不太明确。因此，系统地分析了地球物理领域对高精度惯性传感器的应用需求，主要包括：自然灾害监测中的地震监测、固体潮和火山活动监测。高精度惯性传感器在自然资源勘探领域中的应用主要涉及地球物理勘探方法(重、磁、电、震）中的重力和地震物探方法，以及在钻井工程监测等领域的重力辅助导航中用于局部重力场的精密测量等。针对上述的应用领域需求，总结了已经应用于和未来可用于地球物理领域的高精度MEMS惯性传感器的国内外研究现状，并得出了如下结论：高精度MEMS惯性传感器在极端环境、低成本、高密度的地球物理应用环境下具有极大的优势，并有逐渐替代现有传统地球物理仪器的趋势。
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| 关 键 词： | 地球物理 微机电系统 惯性传感器 地震检波器 重力仪 |
High-precision MEMS Inertial Sensors for Geophysical Applications |
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| WANG Qiu,LIU Hua-feng and TU Liang-cheng.High-precision MEMS Inertial Sensors for Geophysical Applications[J].Navigation and Control,2018(6):1-9. |
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| Authors: | WANG Qiu LIU Hua-feng and TU Liang-cheng |
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| Institution: | Institute of Geophysics, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074;MOE Key Laboratory of Gravity Navigation, Wuhan 430074,Institute of Geophysics, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074;MOE Key Laboratory of Gravity Navigation, Wuhan 430074 and Institute of Geophysics, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074;MOE Key Laboratory of Gravity Navigation, Wuhan 430074 |
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