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| 高精度接触式扫描测头动态特性分析 | |
| 引用本文： | 贾立德,王家伍,李婷,李圣怡.高精度接触式扫描测头动态特性分析[J].航空精密制造技术,2010,46(1). |
| 作者姓名： | 贾立德 王家伍 李婷 李圣怡 |
| 作者单位： | 1. 中国酒泉卫星发射中心,兰州,732750;国防科技大学机电工程与自动化学院,长沙,410073 2. 中国酒泉卫星发射中心,兰州,732750 3. 国防科技大学机电工程与自动化学院,长沙,410073 |
| 摘 要： | 本文在对高精度光学非球面摆臂式扫描测量方法简要介绍的基础上,建立了高精度接触式扫描测头的结构模型,详细分析了扫描速度对测量精度的影响规律.在此基础上.利用建立的摆臂式扫描测量系统对500mm口径,相对口径1:1的深型球面镜进行了相关测量实验并与干涉测量结果进行了比对.实验验证了上述分析的正确性. |
| 关 键 词： | 扫描测头 动态特性 接触式测量 轮廓测量 |
Dynamic Characteristics Analysis of Contact Scanning Probe |
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| Abstract: | Based on introduction of the swing-arm profilometry,the structural model of the high-accuracy contact scanning probe was built by using the swing-arm profilometer.The effecting rules of the scanning velocity on the measurement accuracy wereanalyzed.A sphere with aperture=500mm,relative aperture=1:1,was tested with the contact scanning probe,and the testing result was compared with that of the interferometer.The experiments validated that the analysis is correct. |
| Keywords: | scanning probe dynamic characteristic contact measurement profile measurement |
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